Sebuah pompa vakum yang menggunakan permukaan suhu rendah untuk mengembunkan gas, juga dikenal sebagai pompa kondensat. Cryopump adalah pompa vakum dengan tekanan pamungkas terendah dan laju pemompaan tertinggi untuk mendapatkan vakum bersih. Ini banyak digunakan dalam penelitian dan produksi semikonduktor dan sirkuit terpadu, serta penelitian balok molekul, peralatan pelapis vakum, instrumen analisis permukaan vakum, implan ion dan simulasi ruang. perangkat, dll.
Prinsip pemompaan Cryopump dilengkapi dengan pelat dingin yang didinginkan hingga suhu yang sangat rendah dengan helium cair atau lemari es. Ini mengembunkan gas dan menjaga tekanan uap kondensat di bawah tekanan akhir pompa, sehingga mencapai efek pemompaan. Fungsi utama pemompaan suhu rendah adalah kondensasi suhu rendah, adsorpsi suhu rendah dan penangkapan suhu rendah. Kondensasi suhu rendah: molekul gas mengembun pada permukaan pelat dingin atau pada lapisan gas terkondensasi, dan tekanan kesetimbangan pada dasarnya sama dengan tekanan uap kondensat. Saat memompa udara, suhu pelat dingin harus lebih rendah dari 25K; saat memompa hidrogen, suhu pelat dingin lebih rendah. Ketebalan kondensasi suhu rendah dan lapisan kondensasi ekstraksi bisa mencapai sekitar 10 mm. Adsorpsi suhu rendah: Molekul gas teradsorpsi pada permukaan adsorben yang dilapisi pada pelat dingin dengan ketebalan lapisan tunggal (10-8 cm). Tekanan kesetimbangan untuk adsorpsi jauh lebih rendah daripada tekanan uap pada suhu yang sama. Jika tekanan uap hidrogen sama dengan tekanan atmosfer pada 20K, tekanan kesetimbangan adsorpsi lebih rendah dari 10-8 Pa ketika karbon aktif dengan 20K menyerap hidrogen. Hal ini memungkinkan untuk melakukan pemompaan dengan adsorpsi kriogenik pada suhu yang lebih tinggi. Perangkap kriogenik: Molekul gas yang tidak dapat terkondensasi pada suhu ekstraksi terkubur dan teradsorpsi oleh lapisan gas yang dapat dikondensasikan.
Secara umum, tekanan pamungkas pompa adalah tekanan uap gas terkondensasi pada suhu pelat dingin. Ketika suhu 120K, tekanan uap air sudah lebih rendah dari 10-8 Pa. Ketika suhu 20K, kecuali helium, neon dan hidrogen, tekanan uap gas lain juga lebih rendah dari {{3} } Pa Namun, karena perbedaan suhu wadah yang dipompa dan pelat dingin kriogenik, tekanan pamungkas pompa lebih tinggi daripada tekanan uap kondensat. Untuk bejana pada suhu kamar, dengan cryopanel 20K, tekanan akhir pompa adalah sekitar 4 kali tekanan uap kondensat.