Menurut metode pasokan media, cryopumps dibagi menjadi beberapa jenis berikut:
Pompa kriogenik tangki penyimpanan: media suhu rendah (helium cair) disuntikkan langsung ke tangki penyimpanan di pompa untuk mengembunkan gas untuk mencapai tujuan pemompaan.
Keunggulan tangki penyimpanan cryopump adalah ukuran pompa yang kecil, tidak bergetar, tidak bising, dan mudah dioperasikan.
Kerugian dari pompa kriogenik tangki penyimpanan adalah biaya operasinya tinggi, waktu penggunaan setiap pengisian media suhu rendah pendek, dan sistem vakum yang perlu beroperasi terus menerus untuk waktu yang lama perlu mengisi ulang kerja secara berkala. medium, dan dibatasi oleh kondisi suplai medium bersuhu rendah.
Proses cryopump: Pipa pendingin cryopanel di pompa terhubung ke refrigeration expander, dan media kriogenik (gas helium) disuplai ke cryopump melalui pipa luar, menyerap panas cryopanel, dan kemudian kembali ke kompresor pendingin untuk membentuk siklus tertutup. Volume pompa sangat besar, pipa rumit, dan kehilangan pendinginan pipa besar.
Keuntungan dari proses cryopump adalah memiliki daya pendinginan yang besar dan paling cocok untuk menghilangkan volume atmosfer atau ruang vakum yang besar.
Cryopump kulkas kecil: Cryopump kulkas kecil siklus tertutup terdiri dari badan pompa suhu rendah, cryopanel ekstraksi udara, pelat pelindung radiasi, kulkas, dan kompresor.
Perbedaan terbesar antara pompa kriogenik kulkas kecil dan pompa kriogenik proses adalah bahwa kepala dingin pertama dan kedua dari kulkas terhubung langsung ke layar radiasi dan pelat dingin, dan aliran dalam pipa penghubung antara lemari es dan kompresor adalah suhu normal, suhu tinggi (atau rendah). ) media gas bertekanan, tidak ada masalah transportasi media suhu rendah, dan memiliki keunggulan proses cryopump dan tangki penyimpanan cryopump. Ini adalah pompa vakum ultra-tinggi bersih yang ideal saat ini.
Cryopumps kulkas kecil banyak digunakan dalam persiapan film tipis, teknologi mikroelektronika, fisika energi tinggi, peralatan die ring kecil dan bidang industri lainnya.