Cryopump adalah pompa vakum yang menggunakan permukaan suhu rendah untuk mengembunkan gas, juga dikenal sebagai pompa kondensat. Cryopump dapat memperoleh vakum bersih dengan laju pemompaan tertinggi dan tekanan pamungkas terendah, dan banyak digunakan dalam penelitian dan produksi semikonduktor dan sirkuit terpadu, serta penelitian balok molekul, peralatan pelapis vakum, instrumen analisis permukaan vakum, ion implan dan simulasi ruang. perangkat, dll.
Prinsip pemompaan Cryopump dilengkapi dengan pelat dingin yang didinginkan hingga suhu yang sangat rendah dengan helium cair atau lemari es. Ini mengembunkan gas dan menjaga tekanan uap kondensat di bawah tekanan akhir pompa, sehingga mencapai efek pemompaan. Fungsi utama pemompaan suhu rendah adalah kondensasi suhu rendah, adsorpsi suhu rendah dan penangkapan suhu rendah.
pompa kriya
Kondensasi suhu rendah: molekul gas mengembun pada permukaan pelat dingin atau pada lapisan gas terkondensasi, dan tekanan kesetimbangan pada dasarnya sama dengan tekanan uap kondensat. Saat memompa hidrogen, suhu pelat dingin lebih rendah.
Adsorpsi suhu rendah: Molekul gas teradsorpsi pada permukaan adsorben yang dilapisi pada pelat dingin dengan ketebalan satu lapisan molekul. Tekanan kesetimbangan untuk adsorpsi jauh lebih rendah daripada tekanan uap pada suhu yang sama.
Perangkap kriogenik: Molekul gas yang tidak dapat terkondensasi pada suhu ekstraksi terkubur dan teradsorpsi oleh lapisan gas yang dapat dikondensasikan.